AFMとEBSPの併用による疲労損傷評価とそのMEMS材料への適用

• 資料種別: 図書
• タイトル: AFMとEBSPの併用による疲労損傷評価とそのMEMS材料への適用
• タイトルよみ: AFM ト EBSP ノ ヘイヨウ ニ ヨル ヒロウ ソンショウ ヒョウカ ト ソノ MEMS ザイリョウ エ ノ テキヨウ
• 著者・編者: 中井善一, 神戸大学 [著]
• 著者標目: 中井, 善一, 1954- ナカイ, ヨシカズ, 1954- ( 00149522 )典拠; 神戸大学 コウベ ダイガク ( 00275270 )典拠
• 出版事項: [中井善一]
• 出版年月日等: 2004-2005; 2006.3
• 出版年（W3CDTF）: 2004; 2005
• 数量: 104枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: MEMS / マイクロマテリアル / 疲労損傷 / AFM / EBSP / 薄膜 / ナノクリスタル / 結晶塑性 MEMS / マイクロマテリアル / ヒロウ ソンショウ / AFM / EBSP / ハクマク / ナノクリスタル / ケッショウ ソセイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 16560070
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H16560070
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008373703; http://id.ndl.go.jp/bib/000008373703
• 整理区分コード: 214