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次世代極薄高誘電率ゲート絶縁膜中の不純物の挙動に関する理論的研究

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次世代極薄高誘電率ゲート絶縁膜中の不純物の挙動に関する理論的研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H16560020
国立国会図書館書誌ID
000008381076
資料種別
図書
著者
白石賢二, 筑波大学 [著]
出版者
[白石賢二]
出版年
2004-2005
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ジセダイ ゴクウス コウユウデンリツ ゲート ゼツエンマクチュウ ノ フジュンブツ ノ キョドウ ニ カンスル リロンテキ ケンキュウ
著者・編者
白石賢二, 筑波大学 [著]
著者標目
白石, 賢二 シライシ, ケンジ
筑波大学 ツクバ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2004-2005
2006.5
出版年(W3CDTF)
2004
2005
数量
1冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)