半導体故障解析・分析技術大全. 2007

• 資料種別: 図書
• タイトル: 半導体故障解析・分析技術大全
• タイトルよみ: ハンドウタイ コショウ カイセキ ブンセキ ギジュツ タイゼン
• 巻次・部編番号: 2007
• シリーズタイトル: Electronic journal別冊
• 出版事項: 東京 : 電子ジャーナル
• 出版年月日等: 2006.10
• 出版年（W3CDTF）: 2006
• 数量: 394p
• 大きさ: 28cm
• 並列タイトル等: Semiconductor failure analysis technology outlook
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 半導体 ハンドウタイ ( 00562913 )典拠
• NDC9版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: ND371
• NDC（参考図書紹介）: 549.8
• 対象利用者: 一般
• 入手条件・定価: 49000円 (税込)
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-H156
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008384566; http://id.ndl.go.jp/bib/000008384566
• 全国書誌番号: 21162982
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

CONTENTS　2007半導体故障解析・分析技術大全

第1編 半導体故障解析・分析技術総論

第1章 絞り込み手法の現状と動向/ 18

第2章 物理化学的解析手法の現状と動向/ 27

第3章 LSI製造における故障解析・分析技術の現状と課題/ 37