超微細パターニング技術 : 次世代のナノ・マイクロパターニングプロセス

• 資料種別: 図書
• ISBN: 4-903413-01-2
• タイトル: 超微細パターニング技術 : 次世代のナノ・マイクロパターニングプロセス
• タイトルよみ: チョウビサイ パターニング ギジュツ : ジセダイ ノ ナノ マイクロパターニング プロセス
• 出版事項: 東京 : サイエンス&テクノロジー
• 出版年月日等: 2006.2
• 出版年（W3CDTF）: 2006
• 数量: 333p
• 大きさ: 31cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 工業材料 コウギョウザイリョウ ( 00566211 )典拠; 薄膜 ハクマク ( 00562857 )典拠; ナノテクノロジー ナノテクノロジー ( 00907854 )典拠
• NDC9版: 501.4 : 工業基礎学
• NDLC: M213
• 対象利用者: 一般
• 入手条件・定価: 58000円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M213-H178
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008390333; http://id.ndl.go.jp/bib/000008390333
• 全国書誌番号: 21163122
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

—目次—

第1章 真空紫外光リソグラフィーによる有機単分子膜のマイクロパターニング

1. 非晶性有機シラン単分子膜の調製/ 1

2. 真空紫外リソグラフィーと化学気相吸着による三成分系有機シラン単分子膜の調製/ 3

3. 多成分系有機シランナノ薄膜の表面構造と機能特性/ 6