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入門フォトマスク技術 : LSI,FPD,PWB,MEMSのためのフォトマスク

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入門フォトマスク技術 : LSI,FPD,PWB,MEMSのためのフォトマスク

国立国会図書館請求記号
ND386-H207
国立国会図書館書誌ID
000008411332
資料種別
図書
著者
田邉功, 竹花洋一, 法元盛久 著
出版者
工業調査会
出版年
2006.12
資料形態
ページ数・大きさ等
323p ; 21cm
NDC
549.7
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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
4-7693-1259-8
タイトルよみ
ニュウモン フォトマスク ギジュツ : LSI FPD PWB MEMS ノ タメノ フォトマスク
著者・編者
田邉功, 竹花洋一, 法元盛久 著
著者標目
田辺, 功, 1937- タナベ, イサオ, 1937- ( 00534033 )典拠
竹花, 洋一 タケハナ, ヨウイチ ( 01092236 )典拠
法元, 盛久 ホウガ, モリヒサ ( 01092237 )典拠
出版年月日等
2006.12
出版年(W3CDTF)
2006
数量
323p