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博士論文
Real-time spatial-phase-locked electron-beam lithography
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Real-time spatial-phase-locked electron-beam lithography
国立国会図書館請求記号
M-DIMIT-05-005
国立国会図書館書誌ID
000008456344
資料種別
博士論文
著者
Feng Zhang.
出版者
Massachusetts Institute of Technology
出版年
2005.
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
139 p.
授与大学名・学位
Massachusetts Institute of Technology
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書誌情報
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書誌情報を出力
紙
資料種別
博士論文
タイトル
Real-time spatial-phase-locked electron-beam lithography
著者・編者
Feng Zhang.
著者標目
Zhang, Feng.
出版事項
Cambridge : Massachusetts Institute of Technology
出版年月日等
2005.
数量
139 p.
授与機関名
Massachusetts Institute of Technology
授与年月日
2005.
授与年月日(W3CDTF)
2005
学位論文注記
博士論文
Thesis (doctoral) --Massachusetts Institute of Technology, 2005.
出版地(国名コード)
US
本文の言語コード
eng
書誌注記
Includes bibliographies.
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
M-DIMIT-05-005
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000008456344
http://id.ndl.go.jp/bib/000008456344
整理区分コード
216
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