機能性硬質表面処理材料の創製と評価 : 青山学院大学総合研究所理工学研究センター研究成果報告論集

• 資料種別: 図書
• タイトル: 機能性硬質表面処理材料の創製と評価 : 青山学院大学総合研究所理工学研究センター研究成果報告論集
• タイトルよみ: キノウセイ コウシツ ヒョウメン ショリ ザイリョウ ノ ソウセイ ト ヒョウカ : アオヤマ ガクイン ダイガク ソウゴウ ケンキュウジョ リコウガク ケンキュウ センター ケンキュウ セイカ ホウコク ロンシュウ
• 著者標目: 青山学院大学総合研究所理工学研究センター アオヤマ ガクイン ダイガク ソウゴウ ケンキュウジョ リコウガク ケンキュウ センター ( 01080681 )典拠
• 出版事項: 東京 : 青山学院大学総合研究所理工学研究センター
• 出版年月日等: 2003.10
• 出版年（W3CDTF）: 2003
• 数量: 37p
• 大きさ: 26cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 超硬工具--論文集 チョウコウコウグ ロンブンシュウ ( 01079413 )典拠; コーティング コーティング ( 00566796 )典拠; 切削工具 セッサクコウグ ( 00570833 )典拠
• NDC9版: 532.6 : 機械工作．工作機械
• NDLC: NB75
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 研究期間: 2001年4月1日-2003年3月31日; 研究代表者: 小川武史
• 書誌注記: 文献あり
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: NB75-H11
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008459646; http://id.ndl.go.jp/bib/000008459646
• 全国書誌番号: 21198852
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

• 内容細目: New technologies in fabrication of ITO thin films / 重里有三 著Internal stress of ITO,IZO and GZO films deposited by RF and DC magnetron sputtering / 重里有三 ...

目次

機能性硬質表面処理材料の創製と評価 目次

研究プロジェクト概要

New Technologies in Fabrication of ITO Thin Films:

Microstructure and Processing

Internal Stress of ITO, IZO and GZO Films Deposited by RF and DC Magnetron Sputtering

Epitaxial Growth of Diamond Thin Films on Ir(001)／MgO(001) Stacking by Two-step dc Plasma Chemical Vapor Deposition and Their Characterization