Study of RF MEMS switches using PZT thin films for high isolation and low voltage actuation

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Study of RF MEMS switches using PZT thin films for high isolation and low voltage actuation
• 著者・編者: Jiunnjye Tsaur [著]
• 著者標目: 曹, 俊杰 ソウ, シュンケツ
• 出版事項: [Jiunnjye Tsaur]
• 出版年月日等: [2005]
• 出版年（W3CDTF）: 2005
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: PZT積層膜を用いたRF MEMSスイッチの研究 : 高信号隔離特性および低電圧駆動設計 PZT セキソウマク オ モチイタ RF MEMS スイッチ ノ ケンキュウ : コウシンゴウ カクリ トクセイ オヨビ テイデンアツ クドウ セッケイ
• 授与機関名: 東京大学
• 授与年月日: 平成17年9月30日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2005
• 報告番号: 甲第20712号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• 著者別名: Tsaur, Jiunnjye
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2007-A156
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008476529; http://id.ndl.go.jp/bib/000008476529
• 整理区分コード: 213