光計測シンポジウム論文集

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 光計測シンポジウム論文集
• タイトルよみ: ヒカリ ケイソク シンポジウム ロンブンシュウ
• 巻次・部編番号: 2021
• 著者標目: 日本光学測定機工業会 ニホン コウガク ソクテイキ コウギョウカイ ( 00294085 )典拠
• 出版事項: 東京 : 日本光学測定機工業会
• 刊行巻次・年月次: [ ]-
• 大きさ: 26cm
• 並列タイトル等: Symposium on Optical Measurement and Imaging Technology : SOMIT
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZM15; ZM35
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z74-F452
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008581114; http://id.ndl.go.jp/bib/000008581114
• 全国書誌番号: 01015888
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 131

目次

正弦波変調干渉計の高分解能化

波長走査干渉法による高精度絶対距離測定

10pm精度と10MS/sデータレートを有する高精度・高速ヘテロダイン干渉変位計

微細形状測定用ファブリ・ペロー干渉計内蔵小径光ファイバスタイラスの開発

位相差顕微鏡法によるワイドギャップ半導体結晶の貫通転位の3次元非破壊検査