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電子線リソグラフィ教本

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電子線リソグラフィ教本

国立国会図書館請求記号
ND386-H209
国立国会図書館書誌ID
000008587848
資料種別
図書
著者
横山浩 監修ほか
出版者
オーム社
出版年
2007.6
資料形態
ページ数・大きさ等
210p ; 21cm
NDC
549.7
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資料に関する注記

一般注記:

執筆: 上野巧ほか

資料詳細

要約等:

電子線リソグラフィのノウハウを解説(提供元: 出版情報登録センター(JPRO))

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資料種別
図書
ISBN
978-4-274-20415-9
タイトルよみ
デンシセン リソグラフィ キョウホン
著者・編者
横山浩 監修
秋永広幸 編
著者標目
横山, 浩 ヨコヤマ, ヒロシ ( 00970750 )典拠
秋永, 広幸 アキナガ, ヒロユキ ( 01094560 )典拠
出版年月日等
2007.6
出版年(W3CDTF)
2007
数量
210p