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EMLC 2007 : 23rd European mask and lithography conference : 22-25 January 2007 : Grenoble, France. : EMLC2007 : Jan 2007, Grenoble, France. (SPIE Proceedings ; 6533)

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EMLC 2007 : 23rd European mask and lithography conference : 22-25 January 2007 : Grenoble, France. : EMLC2007 : Jan 2007, Grenoble, France.

(SPIE Proceedings ; 6533)

国立国会図書館請求記号
M17-07-1893
国立国会図書館書誌ID
000008904591
資料種別
図書
著者
VDE/VDI. Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM)ほか
出版者
SPIE
出版年
c2007.
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
1 v. (various pagings) : ill. ; 28 cm.
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

Papers."The conference has annually brought together scientists, (...) " -- foreword.

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紙

資料種別
図書
ISBN
9780819466556
ISSN（シリーズ）
0277-786X
タイトル
EMLC 2007 : 23rd European mask and lithography conference : 22-25 January 2007 : Grenoble, France. : EMLC2007 : Jan 2007, Grenoble, France.
シリーズタイトル
SPIE Proceedings ; 6533
タイトル標目
SPIE digital library.
Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 6533.
著者標目
VDE/VDI. Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM)
Behringer, Uwe F. W.
Maurer, Wilhelm.
Waelpoel, Jacques.
European Mask and Lithography Conference (23rd : 2007 : Grenoble, France)
出版事項
Bellingham : SPIE
出版年月日等
c2007.
出版年（W3CDTF）
2007