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Instrumentation, metrology, and standards for nanomanufacturing : 29-30 August 2007 : San Diego, California, USA. : instrumentation, metrology, and standards for nanomanufacturing conference : 2007 SPIE optics and photonics meeting : Aug 2007, San Diego, CA. (SPIE Proceedings ; 6648)

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Instrumentation, metrology, and standards for nanomanufacturing : 29-30 August 2007 : San Diego, California, USA. : instrumentation, metrology, and standards for nanomanufacturing conference : 2007 SPIE optics and photonics meeting : Aug 2007, San Diego, CA.

(SPIE Proceedings ; 6648)

国立国会図書館請求記号
M17-07-2889
国立国会図書館書誌ID
000009156480
資料種別
図書
著者
Postek, Michael T.ほか
出版者
SPIE
出版年
c2007.
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
1 v. (various pagings) : ill. ; 28 cm.
NDC
-
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書誌情報

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紙

資料種別
図書
ISBN
9780819467966
ISSN（シリーズ）
0277-786X
タイトル
Instrumentation, metrology, and standards for nanomanufacturing : 29-30 August 2007 : San Diego, California, USA. : instrumentation, metrology, and standards for nanomanufacturing conference : 2007 SPIE optics and photonics meeting : Aug 2007, San Diego, CA.
シリーズタイトル
SPIE Proceedings ; 6648
タイトル標目
Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 6648.
著者標目
Postek, Michael T.
Allgair, John.
出版事項
Bellingham : SPIE
出版年月日等
c2007.
出版年（W3CDTF）
2007