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パーベーパレーション法のISプロセスへの適用性評価(共同研究) (JAEA-technology ; 2007-61)

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パーベーパレーション法のISプロセスへの適用性評価(共同研究)

(JAEA-technology ; 2007-61)

国立国会図書館請求記号
Y251-J89
国立国会図書館書誌ID
000009208446
資料種別
図書
著者
金川昭宏, 岩月仁, 田中伸幸, 小貫薫, 福井裕, 西林俊樹 [著]
出版者
日本原子力研究開発機構
出版年
2007.12
資料形態
ページ数・大きさ等
4, 32p ; 30cm
NDC
-
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資料種別
図書
タイトルよみ
パーベーパレーションホウ ノ IS プロセス エノ テキヨウセイ ヒョウカ キョウドウ ケンキュウ
著者・編者
金川昭宏, 岩月仁, 田中伸幸, 小貫薫, 福井裕, 西林俊樹 [著]
シリーズタイトル
出版年月日等
2007.12
出版年(W3CDTF)
2007
数量
4, 32p
大きさ
30cm