有機触媒CVD法の反応機構の解析とSiOCおよびSiNC系薄膜の成長と評価に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 有機触媒CVD法の反応機構の解析とSiOCおよびSiNC系薄膜の成長と評価に関する研究
• タイトルよみ: ユウキ ショクバイ CVDホウ ノ ハンノウ キコウ ノ カイセキ ト SiOC オヨビ SiNCケイ ハクマク ノ セイチョウ ト ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 畑強之 [著]
• 著者標目: 畑, 強之 ハタ, ツヨシ
• 出版事項: [畑強之]
• 出版年月日等: [2007]
• 出版年（W3CDTF）: 2007
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 大阪市立大学
• 授与年月日: 平成19年3月31日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2007
• 報告番号: 甲第2675号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2007-S741
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009228391; http://id.ndl.go.jp/bib/000009228391
• 整理区分コード: 213