ナノ構造の新作製法としてのプラズマ異方性CVD

• 資料種別: 図書
• タイトル: ナノ構造の新作製法としてのプラズマ異方性CVD
• タイトルよみ: ナノ コウゾウ ノ シン サクセイホウ ト シテ ノ プラズマ イホウセイ CVD
• 著者・編者: 白谷正治, 九州大学 [著]
• 著者標目: 白谷, 正治 シラタニ, マサハル; 九州大学 キュウシュウ ダイガク
• 出版事項: [白谷正治]
• 出版年月日等: 2004-2006; 2007.5
• 出版年（W3CDTF）: 2004; 2006
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 銅配線 / ルテニウム / プラズマCVD / 異方性製膜 / イオンアシスト製膜 / スパッタリング / ナノ構造 / LSI ドウ ハイセン / ルテニウム / プラズマ CVD / イカタセイセイマク / イオンアシストセイマク / スパッタリング / ナノ コウゾウ / LSI
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 16360020
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H16360020
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009285741; http://id.ndl.go.jp/bib/000009285741
• 整理区分コード: 214