ハレクシスCBED法を用いた鉄シリサイド半導体薄膜の結晶性評価

• 資料種別: 図書
• タイトル: ハレクシスCBED法を用いた鉄シリサイド半導体薄膜の結晶性評価
• タイトルよみ: ハレクシス CBEDホウ オ モチイタ テツ シリサイド ハンドウタイ ハクマク ノ ケッショウセイ ヒョウカ
• 著者・編者: 板倉賢, 九州大学 [著]
• 著者標目: 板倉, 賢 イタクラ, マサル; 九州大学 キュウシュウ ダイガク
• 出版事項: [板倉賢]
• 出版年月日等: 2004-2006; [2007]
• 出版年（W3CDTF）: 2004; 2006
• 数量: 64p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 鉄シリサイド / スパッタ薄膜 / エピタキシャル成長 / 透過型電子顕微鏡 / 微細構造解析 / 収束電子線回折 / 格子歪み測定 / 方位解析 テツ シリサイド / スパッタ ハクマク / エピタキシャル セイチョウ / トウカガタ デンシ ケンビキョウ / ビサイ コウゾウ カイセキ / シュウソク デンシセン カイセツ / コウシ ヒズミ ソクテイ / ホウイ カイセキ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 16360315
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H16360315
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009285949; http://id.ndl.go.jp/bib/000009285949
• 整理区分コード: 214