電子照射によるナノファブリケーションの基礎

• 資料種別: 図書
• タイトル: 電子照射によるナノファブリケーションの基礎
• タイトルよみ: デンシ ショウシャ ニ ヨル ナノファブリケーション ノ キソ
• 著者・編者: 竹田精治, 大阪大学 [著]
• 著者標目: 竹田, 精治 タケダ, セイジ; 大阪大学 オオサカ ダイガク
• 出版事項: [竹田精治]
• 出版年月日等: 2003-2006; 2007.3
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2006
• 数量: 75p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 電子照射 / ナノファブリケーション / 透過電子顕微鏡 / シリコン / 電子励起 / ナノ触媒 / 表面 デンシ ショウシャ / ナノファブリケーション / トウカ デンシ ケンビキョウ / シリコン / デンシレイキ / ナノ ショクバイ / ヒョウメン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15201026
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15201026
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009309880; http://id.ndl.go.jp/bib/000009309880
• 整理区分コード: 214