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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- デンシ ビーム チョクビョウ ニ サイテキカシタ メモリ ユウゴウ シュウセキ カイロ ニ ヨル テイコスト テイショウヒ デンリョク セッケイ ギジュツ
- 著者・編者
- 藤野毅, 立命館大学 [著]
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2004-20052007.3
- 出版年(W3CDTF)
- 20042005
- 数量
- 77p
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)電子ビーム直描に最適化したメモリ融合集積回路による低コスト低消費電力設計技術に関する研究