ハーモニックECRプラズマによる極細管内壁コーティング法の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: ハーモニックECRプラズマによる極細管内壁コーティング法の研究
• タイトルよみ: ハーモニック ECR プラズマ ニ ヨル キョクサイカン ナイヘキ コーティングホウ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 藤山寛, 長崎大学 [著]
• 著者標目: 藤山, 寛 フジヤマ, ヒロシ; 長崎大学 ナガサキ ダイガク
• 出版事項: [藤山寛]
• 出版年月日等: 2004-2006; 2007.3
• 出版年（W3CDTF）: 2004; 2006
• 数量: 185p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: プラズマ・核融合 / 半導体超微細化 / マイクロ・ナノデバイス / マイクロマシン / プラズマ加工 プラズマ ・ カク ユウゴウ / ハンドウタイ チョウビサイカ / マイクロ ・ ナノデバイス / マイクロマシン / プラズマ カコウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 16340184
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H16340184
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009340336; http://id.ndl.go.jp/bib/000009340336
• 整理区分コード: 214