SiGe基板単結晶の低欠陥化と歪みを制御した機能性ヘテロ構造の創製

• 資料種別: 図書
• タイトル: SiGe基板単結晶の低欠陥化と歪みを制御した機能性ヘテロ構造の創製
• タイトルよみ: SiGe キバン タンケッショウ ノ テイケッカンカ ト ヒズミ オ セイギョシタ キノウセイ ヘテロ コウゾウ ノ ソウセイ
• 著者・編者: 中嶋一雄, 東北大学 [著]
• 著者標目: 中嶋, 一雄 ナカジマ, カズオ; 東北大学 トウホク ダイガク
• 出版事項: [中嶋一雄]
• 出版年月日等: 2002-2006; 2007.5
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2006
• 数量: 106p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(S)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: シリコンゲルマニウム / バルク結晶 / 歪みシリコン / 逆格子空間マッピング / 分子線エピタキシー シリコンゲルマニウム / バルク ケッショウ / ヒズミ シリコン / ギャクゴウシ クウカン マッピング / ブンシセン エピタキシー
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14102020
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14102020
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009349082; http://id.ndl.go.jp/bib/000009349082
• 整理区分コード: 214