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ECRプラズマMOCVD法によるチタニア基ナノコンポジット膜の低温合成

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ECRプラズマMOCVD法によるチタニア基ナノコンポジット膜の低温合成

国立国会図書館請求記号
Y151-H16360321
国立国会図書館書誌ID
000009349440
資料種別
図書
著者
増本博, 東北大学 [著]
出版者
[増本博]
出版年
2004-2006
資料形態
ページ数・大きさ等
108p
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ECR プラズマ MOCVDホウ ニ ヨル チタニアキ ナノコンポジットマク ノ テイオン ゴウセイ
著者・編者
増本博, 東北大学 [著]
著者標目
増本, 博 マスモト, ヒロシ
東北大学 トウホク ダイガク
出版事項
出版年月日等
2004-2006
2007.3
出版年(W3CDTF)
2004
2006
数量
108p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)