博士論文

二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での潤滑特性と長寿命化に関する研究

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二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での潤滑特性と長寿命化に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2008-B579
国立国会図書館書誌ID
000009362994
資料種別
博士論文
著者
小熊清典 [著]
出版者
[小熊清典]
出版年
[2007]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
九州工業大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
ニリュウカ モリブデン スパッタマク ノ タイキチュウ デ ノ ジュンカツ トクセイ ト チョウジュミョウカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
小熊清典 [著]
著者標目
小熊, 清典 コグマ, キヨノリ
出版事項
出版年月日等
[2007]
出版年(W3CDTF)
2007
数量
1冊
授与機関名
九州工業大学