シリコンの選択酸化による細線光導波路の作製に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: シリコンの選択酸化による細線光導波路の作製に関する研究
• タイトルよみ: シリコン ノ センタク サンカ ニ ヨル サイセン ヒカリ ドウハロ ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 飯山宏一, 金沢大学 [著]
• 著者標目: 飯山, 宏一 イイヤマ, コウイチ; 金沢大学 カナザワ ダイガク
• 出版事項: [飯山宏一]
• 出版年月日等: 2005-2006; 2007.3
• 出版年（W3CDTF）: 2005; 2006
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 光導波路 / Si細線光導波路 / 光伝搬解析 / Siの選択酸化 / シリコン窒化膜 ヒカリドウハロ / Si サイセン ヒカリドウハロ / ヒカリデンパン カイセキ / Si ノ センタク サンカ / シリコン チッカマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 17560032
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H17560032
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009371589; http://id.ndl.go.jp/bib/000009371589
• 整理区分コード: 214