ナノサイズ薄膜の強度支配因子は何か?

• 資料種別: 図書
• タイトル: ナノサイズ薄膜の強度支配因子は何か?
• タイトルよみ: ナノサイズ ハクマク ノ キョウド シハイ インシ ワ ナニカ ?
• 著者・編者: 英崇夫, 徳島大学 [著]
• 著者標目: 英, 崇夫 ハナブサ, タカオ; 徳島大学 トクシマ ダイガク
• 出版事項: [英崇夫]
• 出版年月日等: 2005-2006; 2007.5
• 出版年（W3CDTF）: 2005; 2006
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C); ナノ薄膜の強度支配因子は何か?
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 薄膜 / ナノサイズ / ストレスマイグレーション / Cu薄膜 / Al薄膜 / 残留応力 / 熱応力 / 保護膜 ハクマク / ナノサイズ / ストレスマイグレーション / Cu ハクマク / Al ハクマク / ザンリュウ オウリョク / ネツ オウリョク / ホゴマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 17560071
• 科研費課題番号（エラーコード）: 7560071
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H17560071
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009375699; http://id.ndl.go.jp/bib/000009375699
• 整理区分コード: 214