Rapid thermal processing and beyond : applications in semiconductor processing : special topic volume : selected papers from RTP specialists all over the world : Dornstadt, Germany / edited by W. Lerch and J. Niess. (Materials science forum ; v. 573-574)

Rapid thermal processing and beyond : applications in semiconductor processing : special topic volume : selected papers from RTP specialists all over the world : Dornstadt, Germany / edited by W. Lerch and J. Niess.

(Materials science forum ; v. 573-574)

国立国会図書館請求記号: X
国立国会図書館書誌ID: 000009394608

資料種別: 図書

著者: Lerch W.ほか

出版者: Trans Tech Publications Ltd.

出版年: c2008.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: xvi, 432 p. : iil. ; 25 cm.

NDC: -

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISSN（シリーズ）: 0255-5476
タイトル: Rapid thermal processing and beyond : applications in semiconductor processing : special topic volume : selected papers from RTP specialists all over the world : Dornstadt, Germany / edited by W. Lerch and J. Niess.
シリーズタイトル: Materials science forum ; v. 573-574
著者標目: Lerch W.
Niess, J.
出版事項: Stafa-Zurich : Trans Tech Publications Ltd.
United Kingdom : Trans Tech Publications Ltd.
出版年月日等: c2008.
出版年（W3CDTF）: 2008
数量: xvi, 432 p. : iil. ; 25 cm.
出版地（国名コード）: CH
本文の言語コード: eng
件名標目: Semiconductors -- Thermal properties.
Thermal processing.
DDC: 621.38152
NDLC: ND371
書誌注記: Includes bibliographical references and indexes.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: X
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000009394608
http://id.ndl.go.jp/bib/000009394608
OCLC番号: 229463616
https://www.worldcat.org/oclc/229463616
目録規則: 英米目録規則
整理区分コード: 211