博士論文

Si基板上への酸化物ヘテロエピタキシーとデバイス応用

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Si基板上への酸化物ヘテロエピタキシーとデバイス応用

国立国会図書館請求記号
UT51-2008-F648
国立国会図書館書誌ID
000009439388
資料種別
博士論文
著者
伊藤幹記 [著]
出版者
[伊藤幹記]
出版年
[2008]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
豊橋技術科学大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
Si キバンジョウ エ ノ サンカブツ ヘテロエピタキシー ト デバイス オウヨウ
著者・編者
伊藤幹記 [著]
著者標目
伊藤, 幹記 イトウ, ミキノリ
出版事項
出版年月日等
[2008]
出版年(W3CDTF)
2008
数量
1冊
授与機関名
豊橋技術科学大学