フォトエッチングによる酸化物半導体表面のナノポーラス加工

• 資料種別: 図書
• タイトル: フォトエッチングによる酸化物半導体表面のナノポーラス加工
• タイトルよみ: フォトエッチング ニ ヨル サンカブツ ハンドウタイ ヒョウメン ノ ナノポーラス カコウ
• 著者・編者: 杉浦隆, 岐阜大学 [著]
• 著者標目: 杉浦, 隆 スギウラ, タカシ; 岐阜大学 ギフ ダイガク
• 出版事項: [杉浦隆]
• 出版年月日等: 2006-2007; 2008.5
• 出版年（W3CDTF）: 2006; 2007
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 機能性セラミックス / 電気化学 / 微細加工 / フォトエッチング / 光触媒 / 酸化チタン キノウセイ セラミックス / デンキ カガク / ビサイ カコウ / フォトエッチング / ヒカリ ショクバイ / サンカ チタン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 18560653
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H18560653
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009466673; http://id.ndl.go.jp/bib/000009466673
• 整理区分コード: 214