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対向流共存対流の伝熱・流動とCVD成膜問題への応用

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対向流共存対流の伝熱・流動とCVD成膜問題への応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H18560198
国立国会図書館書誌ID
000009468911
資料種別
図書
著者
北村健三, 豊橋技術科学大学 [著]
出版者
[北村健三]
出版年
2006-2007
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
タイコウリュウ キョウソン タイリュウ ノ デンネツ リュウドウ ト CVD セイマク モンダイ エ ノ オウヨウ
著者・編者
北村健三, 豊橋技術科学大学 [著]
著者標目
北村, 健三 キタムラ, ケンゾウ
豊橋技術科学大学 トヨハシ ギジュツ カガク ダイガク
出版事項
出版年月日等
2006-2007
2008.5
出版年(W3CDTF)
2006
2007
数量
1冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)