微細転写・加工技術全集

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-86104-248-5
• タイトル: 微細転写・加工技術全集
• タイトルよみ: ビサイ テンシャ カコウ ギジュツ ゼンシュウ
• 著者・編者: 片岡大 企画編集
• 著者標目: 片岡, 大 カタオカ, マサル ( 01089297 )典拠
• 出版事項: 東京 : 技術情報協会
• 出版年月日等: 2008.8
• 出版年（W3CDTF）: 2008
• 数量: 475p
• 大きさ: 27cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: ナノインプリント ナノインプリント ( 01086440 )典拠; 電気鋳造 デンキチュウゾウ ( 00561376 )典拠; リソグラフィー リソグラフィー ( 00576369 )典拠
• NDC9版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: ND371
• NDC（参考図書紹介）: 549.8
• 紹介文（参考図書紹介）: 本書は、微細転写に関わる様々な技術を網羅したもので、全4章で構成されている。 ; 第1章では、所定のパターンを掘り込んだ金型を樹脂薄膜の表面に押し当てて微細加工を実現する「ナノインプリント」について、シートナノインプリントの原理・光インプリントによる微細転写技術・ナノキャスティング法・熱ナノインプリントの最適設計など各種応用技術トレンドや今後の展望を示している。 ; 第2章「電鋳法」では、カーナビ・携帯電話といった光学部品や微細部品の製造に必要な高精度の微細加工技術である電気鋳造に関して述べている。ここでは、そのマスタ加工や導電化処理、様々な電鋳法による金型の製作などが解説されている。 ; 第3章は、放射光を用いたX線ディープリソグラフィによる微細パターン形成、電鋳による金型作製、金型による精密生成を組み合わせた加工技術である「LiGAプロセス」の応用について紹介している。第4章では、半導体を製造する際、基板にレーザーなどで回路パターンを転写する「リソグラフィ」について、レジスト材料やパターニング技術の解説を行っている。
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 文献あり
• 入手条件・定価: 88200円 (税込)
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-J40
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000009495451; http://id.ndl.go.jp/bib/000009495451
• 全国書誌番号: 21490763
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

目次

第1章 ナノインプリント

第1節 各種ナノインプリント方式による大面積・高アスペクト比加工技術/ 3

[1] シートナノインプリント技術によるナノインプリントの生産性向上/ 3

はじめに/ 3