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博士論文

Development of low energy beam source and application to damageless surface modification processes

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Development of low energy beam source and application to damageless surface modification processes

国立国会図書館請求記号
UT51-2008-H265
国立国会図書館書誌ID
000009521156
資料種別
博士論文
著者
Yasuhiro Hara [著]
出版者
[Yasuhiro Hara]
出版年
[2008]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
名古屋大学,博士 (工学)
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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
Yasuhiro Hara [著]
著者標目
原, 安寛 ハラ, ヤスヒロ
出版事項
出版年月日等
[2008]
出版年(W3CDTF)
2008
数量
1冊
並列タイトル等
低エネルギービーム源の開発とダメージレス表面改質プロセスへの応用 テイエネルギー ビームゲン ノ カイハツ ト ダメージレス ヒョウメン カイシツ プロセス エ ノ オウヨウ
授与機関名
名古屋大学