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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- RF マグネトロン スパッタリングホウ ニ ヨル チタン ヒョウメン エ ノ リンサン カルシウム コーティングマク ノ サクセイ ト コツ テキゴウセイ
- 著者・編者
- 上田恭介 [著]
- 著者標目
- 上田, 恭介 ウエダ, キョウスケ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2008]
- 出版年（W3CDTF）
- 2008
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 東北大学
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