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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- Si ULSI タイオウ コウセイノウ タソウ ハイセン インテグレーション オヨビ サイテキ セッケイ シュホウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 小田典明 [著]
- 著者標目
- 小田, 典明 オダ, ノリアキ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2007]
- 出版年(W3CDTF)
- 2007
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- High-level organization of process integration technology and design methodology for Si-ULSI multilevel interconnects