スパッタ実務「Q&A集」

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-86104-276-8
• タイトル: スパッタ実務「Q&A集」
• タイトルよみ: スパッタ ジツム Q & Aシュウ
• 著者・編者: 藤本登 企画編集
• 著者標目: 藤本, 登 フジモト, ノボル ( 01098714 )典拠
• 出版事項: 東京 : 技術情報協会
• 出版年月日等: 2009.1
• 出版年（W3CDTF）: 2009
• 数量: 315p
• 大きさ: 27cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: スパッタリング スパッタリング ( 01155699 )典拠
• NDC9版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: ND371
• NDC（参考図書紹介）: 549.8
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 文献あり
• 入手条件・定価: 81900円 (税込)
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-J60
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010005336; http://id.ndl.go.jp/bib/000010005336
• 全国書誌番号: 21560142
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

目次

スパッタ実務〔Q&A集〕序文/ 1

第1部 スパッタリング現象に関するQ&A

Q1-1 スパッタリングとはどういう現象ですか。何により特徴づけられますか?/ 5

Q1-2 スパッタリング率とは何ですか。また,その測定法は?/ 6