MEMS/NEMS工学全集

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-924728-59-2
• タイトル: MEMS/NEMS工学全集
• タイトルよみ: MEMS NEMS コウガク ゼンシュウ
• 著者・編者: 桑野博喜 監修
• 著者標目: 桑野, 博喜 クワノ, ヒロキ ( 00847117 )典拠
• 出版事項: 東京 : テクノシステム
• 出版年月日等: 2009.4
• 出版年（W3CDTF）: 2009
• 数量: 1096p
• 大きさ: 27cm
• 並列タイトル等: Fundamentals and applications of MEMS/NEMS engineering
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: マイクロマシン マイクロマシン ( 00577044 )典拠
• NDC9版: 530.36 : 機械工学
• NDLC: NB2; NB21
• NDC（参考図書紹介）: 530.36
• 紹介文（参考図書紹介）: 本書は、NEMS/NEMS(Micro/Nano Electro Mechanical Systems)技術の基礎から応用までを、各分野で活躍している114名の技術者・研究者が解説した技術書。実用化されている加速度センサ、インクジェットプリンタヘッド、ディスプレイ磁気ヘッドなどの技術はもとより、今後利用が期待される家電、電気通信、医療・福祉、環境、生産現場、農業などを網羅的に取り上げている。第1章「序論」では、MEMSの歴史と課題と将来展望についてまとめている。第2章「MEMS/NEMS基礎」ではMEMS/NEMSを応用・発展させるために必要な基礎技術ついて記述している。第3章「MEMS/NEMSプロセス基礎技術」ではMEMS/NEMS基盤技術を、加工技術、パッケージング技術、ナノ・バイオ技術などの観点から記述しています。第4章「MEMS/NEMS応用基盤技術」ではMEMS/NEMSを応用する場合の基盤技術として、電子回路技術、制御技術、情報技術、信頼性技術などについて記述している。第5章「MEMS/NEMSデバイス例」では、加速度センサなどのデバイスの実例について記述している。第6章「解析・評価技術」ではMEMS/NEMSの解析・評価技術について記述している。第7章「システムへの適応例」ではMEMS/NEMSを用いた自動車、医療、環境などのシステムへの適用例を記述している。第8章ではμTAS、バイオ、医療、未来センサ、ロボットなど今後期待される分野について主要技術と今後の展望が記述されている。巻末に索引を付す。
• 対象利用者: 一般
• 入手条件・定価: 50000円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: NB2-J15
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010082846; http://id.ndl.go.jp/bib/000010082846
• 全国書誌番号: 21584944
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

MEMS/NEMS工学全集目次

第1章 序論

MEMSの歴史,課題と将来展望/ 3

はじめに/ 3

1. MEMSの歴史(技術の系譜と製品化の系譜)/ 3