兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集
• タイトルよみ: ヒョウゴ ケンリツ ダイガク コウガク ケンキュウカ イオン コウガク ケンキュウシツ ロンブンシュウ
• 巻次・部編番号: 2009年度-2010年度
• 著者標目: 兵庫県立大学大学院工学研究科 ヒョウゴ ケンリツ ダイガク ダイガクイン コウガク ケンキュウカ ( 01158196 )典拠
• 出版事項: 姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室
• 刊行巻次・年月次: 平成19年度-
• 大きさ: 26cm
• 並列タイトル等: Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo; Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo; イオン工学研究室論文集 イオン コウガク ケンキュウシツ ロンブンシュウ
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 表現種別: テキスト
• 機器種別: 機器不用
• キャリア種別: 冊子
• NDLC: ZP5
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z74-E130
• 改題前: 継続前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000008363084
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010087624; http://id.ndl.go.jp/bib/000010087624
• 全国書誌番号: 01022634
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 131

目次

クラスターイオンビーム・ナノ加工技術とその応用

Size effects of gas cluster ions on beam transport, amorphous layer formation and sputtering

Planarization of amorphous carbon films on patterned substrates using gas cluster ion beams

Planarization of bit-patterned surface using gas cluster ion beams

Photoelectron spectroscopy study of the valence band region in diamond-like carbon thin films

Gas cluster ion beam process for high-quality thin film deposition

Fabrication of patterned media by using gas cluster ion beams

Low-damage Processing of Organic Materials with Size-controlled Gas Cluster Ion Beams

High-rate Etching of Organic Materials with Gas Cluster Beam

Planarization of Intermetallic Films by Gas Cluster Ion Beam Irradiations