Micromachining and microfabrication process technology 14 : 27 January 2009 : San Jose, California, United States. : Jan 2009, San Jose, CA. (SPIE Proceedings ; 7204)

Micromachining and microfabrication process technology 14 : 27 January 2009 : San Jose, California, United States. : Jan 2009, San Jose, CA.

(SPIE Proceedings ; 7204)

国立国会図書館請求記号: M17-09-1759
国立国会図書館書誌ID: 000010188436

資料種別: 図書

著者: Perez-Maher, Mary Ann.ほか

出版者: SPIE

出版年: c2009.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 1 v. (various pagings) : ill. ; 28 cm.

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一般注記：: Papers.

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 9780819474506
ISSN（シリーズ）: 0277-786X
タイトル: Micromachining and microfabrication process technology 14 : 27 January 2009 : San Jose, California, United States. : Jan 2009, San Jose, CA.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 7204
タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 7204.
著者標目: Perez-Maher, Mary Ann.
Chiao, Jung-Chih.
Resnick, Paul J.
出版事項: Bellingham : SPIE
出版年月日等: c2009.
出版年（W3CDTF）: 2009
数量: 1 v. (various pagings) : ill. ; 28 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Micromachining -- Congresses.
Microfabrication -- Congresses.
Electromechanical devices -- Design and construction -- Congresses.
Miniature electronic equipment -- Design and construction -- Congresses.
NDLC: M17
一般注記: Papers.
書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-09-1759
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000010188436
http://id.ndl.go.jp/bib/000010188436
OCLC番号: 318214136
https://www.worldcat.org/oclc/318214136
整理区分コード: 215