Design for manufacturability through design-process integration 3 : 26-27 February 2009 : San Jose, California, United States. : Feb 2009, San Jose, CA.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9780819475282
• ISSN（シリーズ）: 0277-786X
• タイトル: Design for manufacturability through design-process integration 3 : 26-27 February 2009 : San Jose, California, United States. : Feb 2009, San Jose, CA.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 7275
• タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 7275.
• 著者標目: SEMATECH, Inc.; Singh, Vivek K.; Rieger, Michael L.
• 出版事項: Bellingham : SPIE
• 出版年月日等: c2009.
• 出版年（W3CDTF）: 2009
• 数量: 1 v. (various pagings) : ill. ; 28 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Integrated circuits -- Design and construction -- Congresses.; Integrated circuits -- Defects -- Analysis -- Congresses.; Semiconductors -- Design and construction -- Congresses.; Semiconductor wafers -- Defects -- Analysis -- Congresses.; Microelectronics industry -- Quality control -- Congresses.; Quality control -- Congresses.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-09-2150
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010230932; http://id.ndl.go.jp/bib/000010230932
• OCLC番号: 325005797; https://www.worldcat.org/oclc/325005797
• 整理区分コード: 215