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博士論文

高周波プラズマ型荷電粒子源の開発とその応用

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高周波プラズマ型荷電粒子源の開発とその応用

国立国会図書館請求記号
UT51-2009-D552
国立国会図書館書誌ID
000010332433
資料種別
博士論文
著者
酒井滋樹 [著]
出版者
[酒井滋樹]
出版年
[2009]
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
京都大学,博士 (工学)
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書誌情報

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紙

資料種別
博士論文
タイトル
高周波プラズマ型荷電粒子源の開発とその応用
タイトルよみ
コウシュウハ プラズマガタ カデン リュウシゲン ノ カイハツ ト ソノ オウヨウ
著者・編者
酒井滋樹 [著]
著者標目
酒井, 滋樹 サカイ, シゲキ
出版事項
[酒井滋樹]
出版年月日等
[2009]
出版年（W3CDTF）
2009
数量
1冊
授与機関名
京都大学