博士論文

LSIデバイスプロセスにおける平坦化CMP技術と多層配線の信頼性に関する研究

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LSIデバイスプロセスにおける平坦化CMP技術と多層配線の信頼性に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2009-F183
国立国会図書館書誌ID
000010415900
資料種別
博士論文
著者
山田洋平 [著]
出版者
[山田洋平]
出版年
[2009]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
九州大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
LSI デバイス プロセス ニ オケル ヘイタンカ CMP ギジュツ ト タソウ ハイセン ノ シンライセイ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
山田洋平 [著]
著者標目
山田, 洋平 ヤマダ, ヨウヘイ
出版事項
出版年月日等
[2009]
出版年(W3CDTF)
2009
数量
1冊
授与機関名
九州大学