ディスプレイ・光学部材における薄膜製造技術

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-901677-83-7
• タイトル: ディスプレイ・光学部材における薄膜製造技術
• タイトルよみ: ディスプレイ コウガク ブザイ ニ オケル ハクマク セイゾウ ギジュツ
• 著者標目: 情報機構 ジョウホウ キコウ ( 01171002 )典拠
• 出版事項: 東京 : 情報機構
• 出版年月日等: 2007.8
• 出版年（W3CDTF）: 2007
• 数量: 420p
• 大きさ: 27cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 光学薄膜 コウガク ハクマク ( 01172276 )典拠
• NDC9版: 549.95 : 電子工学
• NDLC: ND416
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 文献あり
• 入手条件・定価: 68000円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND416-J87
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010439361; http://id.ndl.go.jp/bib/000010439361
• 全国書誌番号: 21639345
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

• 要約等: ☆スパッタリングにおけるトラブル対策って？ ☆各種薄膜製造技術のメカニズムと特徴って？（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））