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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Atsushi Shibuya [著]
- 著者標目
- 澁谷, 篤史 シブヤ, アツシ
- 出版年月日等
- [2009]
- 出版年（W3CDTF）
- 2009
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- マイクロ非球面形状の精密ナノ計測に関する研究 マイクロ ヒキュウメン ケイジョウ ノ セイミツ ナノ ケイソク ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 東北大学
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