マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術

([新材料・新素材シリーズ])

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資料種別: 図書
ISBN: 978-4-7813-0167-9
タイトル: マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
タイトルよみ: マイクロナノデバイスノエッチングギジュツ
著者・編者: 式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修
シリーズタイトル: [新材料・新素材シリーズ]
著者標目: 式田, 光宏シキダ, ミツヒロ ( 01180864 )典拠
佐藤, 一雄, 1948- サトウ, カズオ, 1948- ( 00865926 )典拠
田中, 浩タナカ, ヒロシ ( 01180867 )典拠
出版事項: 東京 : シーエムシー出版
出版年月日等: 2009.10
出版年（W3CDTF）: 2009
数量: 301p
大きさ: 27cm
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: 半導体ハンドウタイ ( 00562913 )典拠
表面 (工学) ヒョウメン (コウガク) ( 00563858 )典拠
NDC9版: 549.8 : 電子工学
NDLC: ND371
NDC（参考図書紹介）: 549.8
対象利用者: 一般
入手条件・定価: 65000円
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: ND371-J96
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000010614364
http://id.ndl.go.jp/bib/000010614364
全国書誌番号: 21686798
NS-MARC番号: 115966100
目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
整理区分コード: 112