「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集

• 資料種別: 雑誌; 電子資料
• タイトル: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集
• タイトルよみ: センサ マイクロ マシン ト オウヨウ システム 」 シンポジウム ロンブンシュウ
• 巻次・部編番号: 37:2020.10.26-28
• 著者・編者: 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
• 著者標目: 電気学会 デンキ ガッカイ ( 00259505 )典拠
• 出版事項: [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
• 出版年月日等: 2020
• 出版年（W3CDTF）: 2020
• 刊行巻次・年月次: 26回 (2009)-
• 大きさ: 12cm
• 並列タイトル等: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム センサ マイクロ マシン ト オウヨウ システム シンポジウム; マイクロ・ナノ工学シンポジウム マイクロ ナノ コウガク シンポジウム; 集積化MEMSシンポジウム シュウセキカ MEMS シンポジウム
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 資料種別（注記）: [電子資料]
• 電子的内容: テキスト・データ
• 電子的内容に関する注記: PDF (26回による)
• NDLC: ZN33
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による; 26回から29回までの本タイトル: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム; 「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」 (日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議主催), 「 集積化MEMSシンポジウム」 (応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催) を収載
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: YH247-299
• 改題前: 継続前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000007531764
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010643656; http://id.ndl.go.jp/bib/000010643656
• 全国書誌番号: 01024840
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 144

目次

半導体バイオセンサによる生体分子認識の検出

金ナノ構造を用いた波長依存性を有するSOI型近赤外ボロメータ素子

回路動作とセンサ動作を両立できる0.18µm8角形多端子MOSFETの研究

銅箔基板を用いたフレキシブル熱式MEMSセンサの開発

α-クォーツによるバルクジャイロの提案