半導体プロセス技術. 2

• 資料種別: 図書
• ISBN: 978-4-87646-113-4
• ISBN（セット）: 978-4-87646-365-7 (シリーズ) (set)
• タイトル: 半導体プロセス技術
• タイトルよみ: ハンドウタイ プロセス ギジュツ
• 巻次・部編番号: 2
• 著者・編者: 谷口研二, 行本善則, 蛭田陽一 執筆
• 版: 改訂版
• シリーズタイトル: 新・半導体プロセス入門講座 ; 第3分冊
• シリーズ著者・編者: 生駒英明 監修
• 著者標目: 谷口, 研二, 1948- タニクチ, ケンジ, 1948- ( 00176969 )典拠; 行本, 善則 ユキモト, ヨシノリ ( 01200053 )典拠; 蛭田, 陽一 ヒルタ, ヨウイチ ( 01200058 )典拠; 生駒, 英明 イコマ, ヒデアキ ( 00144823 )典拠
• 出版事項: 東京 : 工学研究社
• 出版年月日等: 2001.1
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 127p
• 大きさ: 26cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 半導体 ハンドウタイ ( 00562913 )典拠; 集積回路 シュウセキカイロ ( 00572448 )典拠
• NDC9版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 文献あり
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-J118
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010877682; http://id.ndl.go.jp/bib/000010877682
• 全国書誌番号: 21771840
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111