Studies on microplasmas in coaxial dielectric barrier discharges and their application to thin film deposition at atmospheric pressure

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Studies on microplasmas in coaxial dielectric barrier discharges and their application to thin film deposition at atmospheric pressure
• 著者・編者: Yosuke Ito [著]
• 著者標目: 伊藤, 陽介 イトウ, ヨウスケ
• 出版事項: [Yosuke Ito]
• 出版年月日等: [2010]
• 出版年（W3CDTF）: 2010
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 同軸型誘電体バリア放電を用いたマイクロプラズマとその大気圧薄膜堆積への応用に関する研究 ドウジクガタ ユウデンタイ バリア ホウデン オ モチイタ マイクロプラズマ ト ソノ タイキアツ ハクマク タイセキ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 京都大学
• 授与年月日: 平成22年3月23日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2010
• 報告番号: 甲第15383号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2010-B343
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000010894735; http://id.ndl.go.jp/bib/000010894735
• 整理区分コード: 213