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書誌情報
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- 資料種別
- 電子資料
- タイトルよみ
- MEMS ニ オケル ケイジョウ ケイソクホウ ニ カンスル ヒョウジュンカ セイカ ホウコクショ : ヘイセイ 21ネンド キジュン ニンショウ ケンキュウ カイハツ ジギョウ
- 著者標目
- マイクロマシンセンター マイクロマシン センター ( 00732082 )典拠
- 出版年月日等
- 2010.3
- 出版年（W3CDTF）
- 2010
- 数量
- CD-ROM 1枚
- 大きさ
- 12cm
- 出版地（国名コード）
- JP