博士論文

触媒表面を基準面とする化学研磨法の開発とGaN表面の高精度平坦化への応用に関する研究

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触媒表面を基準面とする化学研磨法の開発とGaN表面の高精度平坦化への応用に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2010-C395
国立国会図書館書誌ID
000010922957
資料種別
博士論文
著者
村田順二 [著]
出版者
[村田順二]
出版年
[2010]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
大阪大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
ショクバイ ヒョウメン オ キジュンメン ト スル カガク ケンマホウ ノ カイハツ ト GaN ヒョウメン ノ コウセイド ヘイタンカ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
村田順二 [著]
著者標目
村田, 順二 ムラタ, ジュンジ
出版事項
出版年月日等
[2010]
出版年(W3CDTF)
2010
数量
1冊
授与機関名
大阪大学