アークイオンプレーティング法により成膜したTiSiN膜の機械的特性の解明と切削性能に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: アークイオンプレーティング法により成膜したTiSiN膜の機械的特性の解明と切削性能に関する研究
• タイトルよみ: アーク イオン プレーティングホウ ニ ヨリ セイマクシタ TiSiNマク ノ キカイテキ トクセイ ノ カイメイ ト セッサク セイノウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 石川剛史 [著]
• 著者標目: 石川, 剛史 イシカワ, タケシ
• 出版事項: [石川剛史]
• 出版年月日等: [2010]
• 出版年（W3CDTF）: 2010
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 鳥取大学
• 授与年月日: 平成22年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2010
• 報告番号: 甲第231号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2010-H962
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000011007873; http://id.ndl.go.jp/bib/000011007873
• 整理区分コード: 213