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博士論文

Multi-axis displacement sensors based on interference of diffracted beams

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Multi-axis displacement sensors based on interference of diffracted beams

国立国会図書館請求記号
UT51-2010-J349
国立国会図書館書誌ID
000011017598
資料種別
博士論文
著者
Akihide Kimura [著]
出版者
[Akihide Kimura]
出版年
[2010]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士 (工学)
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博士論文

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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
Akihide Kimura [著]
著者標目
木村, 彰秀 キムラ, アキヒデ
出版事項
出版年月日等
[2010]
出版年(W3CDTF)
2010
数量
1冊
並列タイトル等
回折光干渉型多軸変位センサに関する研究 カイセツ ヒカリ カンショウガタ タジク ヘンイ センサ ニ カンスル ケンキュウ
授与機関名
東北大学