Microelectromechanical systems -- materials and devices 4 : symposium held November 29-December 3, Boston, Massachusetts, U.S.A. : symposium S, "microelectromechanical systems -- materials and devices 4" : Nov 2010, Boston, MA.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9781605112763 (Hardback)
• タイトル: Microelectromechanical systems -- materials and devices 4 : symposium held November 29-December 3, Boston, Massachusetts, U.S.A. : symposium S, "microelectromechanical systems -- materials and devices 4" : Nov 2010, Boston, MA.
• シリーズタイトル: Materials Research Society Symposia Proceedings ; 1299
• タイトル標目: Materials Research Society symposia proceedings ; v. 1299.
• 著者標目: Symposium S, "Microelectromechanical Systems -- Materials and Devices IV" (2010 : Boston, Mass.); DelRio, Frank W.
• 出版事項: Warrendale : Materials Research Society; New York : Cambridge University Press
• 出版年月日等: 2011.
• 出版年（W3CDTF）: 2011
• 数量: ix, 207 p.
• 形態の詳細: ill.
• 大きさ: 24 cm.
• その他のタイトル: 2010 MRS fall meeting.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Microelectromechanical systems--Materials--Congresses.; Microelectromechanical systems--Congresses.; Thin films--Congresses.; Nanostructured materials--Congresses.; Silicon--Congresses.
• LCC: TK7875
• NDLC: M17
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Selected papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and indexes.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-12-1174
• 関連情報: Publisher description; http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy1117/2011292641-d.html
• 別の記録形式: Table of contents only; http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy1117/2011292641-t.html
• 別の記録形式（URI）: http://journals.cambridge.org/action/displayIssue?jid=OPL&volumeId=1299
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000011294817; http://id.ndl.go.jp/bib/000011294817
• LC control number: 2011292641; https://lccn.loc.gov/2011292641
• OCLC番号: 711047888; https://www.worldcat.org/oclc/711047888
• 目録規則: 英米目録規則
• 整理区分コード: 215